螺杆真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，周期性改变齿间容积，从而实现输送气体、达到抽气的目的。其主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封等，一般是双螺杆结构。形式上，螺杆真空泵有卧式和立式之分；依据螺杆转子型线的不同，又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵。
 

　　工作原理：
 

　　螺杆真空泵的工作原理与螺杆式压缩机类似。工作时，阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。随着转子开始转动，由于齿的一端逐渐脱离啮合而形成了齿间容积，齿间容积的扩大在其内部形成了一定的真空，而此齿间容积又仅与吸气口连通，因此气体便在压差作用下流入其中。在随后的转子旋转过程中，阳转子齿不断从阴转子齿的齿槽中脱离出来，齿间容积不断扩大，并与吸气孔口保持连通，直至吸气过程结束。此时，齿间容积达到最大值，并与吸气孔口断开。随后，齿间容积由于转子齿的啮合而不断减小，被密封在齿间容积中的气体被占据体积也随之减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程。最后，齿间容积与排气孔口连通，随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。